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三轴高速激光扫描振镜
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毫无疑问，它是迄今为止小光斑直径大范围加工的最佳解决方案。这些强大的振镜将速度、灵活性与高达 1,500x1,500 mm² 的工作范围结合起来。AXIALSCAN 和 FOCUSSHIFTER 具有单独的模块，采用创新的 RAYLASE 技术。
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三轴扫描振镜的优点
开发三轴扫描振镜是由于输出镜头的成本和大小限制以及二轴扫描振镜的光束孔径限制，这种限制有碍于在中等大小扫描范围内产生较小光斑的功能。三轴扫描振镜满足客户对于小光斑大尺寸加工范围的应用要求，并允许用户使用相同扫描振镜改变工作距离、范围和光斑大小。三轴技术也适用于针对移动目标的动态应用，因为在三维应用中，相应的激光设备能够加工非平面部件或不光滑表面以及高功率产品。现在，这些解决方案用于频率 Nd:YAG、二极管和 CO2 激光器。
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功能描述
在三轴扫描振镜工作时，激光束首先进入移动镜头。透过移动镜头之后，光束快速分散，直到进入一个或两个聚焦镜头。现在会聚的光束穿过镜头，并由一组 X 和 Y 镜片（这些镜片由振镜式扫描器移动）引导。X 和 Y 镜片呈直角排列，向下引导光束，覆盖工作范围的长和宽。
在没有焦点校正的扫描振镜中，向任一轴向移动工作范围中心聚焦的激光光斑时，都会划出一个弧形，在工作范围上方产生一个聚焦点的球面。在远离工作范围中心的位置，激光光束没有聚焦。这是因为当扫描器将光束向远离工作范围中心的方向引导时，从镜头到工件的距离增加了。
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在三轴扫描振镜中，通过微调移动镜头和聚集镜头之间的距离来实现聚焦补偿，由于扫描器通过第三个移动轴—“Z”轴在整个工作范围内引导光束，故而得名“3 轴扫描振镜”。
在 RAYLASE 产品中称 Z 轴为直线模块，它是用来将激光光斑沿光轴向下移动的光学机械组件。因此，激光束子系统能够装入不同的扫描振镜。激光束子系统的聚焦属性由直线模块决定，而在某些版本 (FOCUSSHIFTER) 中，还由振镜上的 F-theta 镜头决定。直线模块装有一个或两个聚焦镜头。
目前，RAYLASE 提供三组这样的扫描振镜。
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AXIALSCAN
AXIALSCAN 是小光斑直径多种工作范围材料加工的完美解决方案。AXIALSCAN 有几种具有出色光学设计的版本，它们拥有极小的光斑直径标准，应用于大到 1,500 x 1,500 mm² 的大工作范围。光斑的高功率密度使它像一把手术刀，使低性能激光器也能派上用场，从而大大地降低了系统成本。在这些模块中，所要求的工作范围尺寸是手动设置的。AXIALSCAN 开启了崭新的应用范围，例如切割金属薄片和网状材料。
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AXIALSCAN (电机驱动)
在这种型号的 AXIALSCAN 上，直线模块内部的 Z 轴能够由电动机驱动。这实现了工作范围的电动调节。
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FOCUSSHIFTER
FOCUSSHIFTER 最近开发的产品系列，它将 XY 扫描振镜（15 或 20 毫米孔径）与 F-Theta 镜头以及集成有直线模块的前聚焦单元结合在一起。使用此配置，可以使用直线模块来更改聚焦面，并设置工作范围的大小。这样就可执行三维操作。示意图显示了此产品的原理。
在玻璃块中创建三维图像或进行材料的深度加工时，FOCUSSHIFTER 更加适用。
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